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國產高性能掃描電鏡在MLCC中的應用
發布時間:2023/11/24   點擊:1372

關鍵詞:失效分析

概述:使用國產高性能掃描電鏡可以輔助完成對MLCC的失效分析,通過微觀形貌找到失效起源,優化生產工藝,實現產品的高可靠性目標。

 

陶瓷電容器作為一種基礎被動元器件,是現代電子工業中重要的一員。其中,片式多層陶瓷電容器(MLCC)因其耐高溫、耐高壓、體積小、電容量范圍寬等特點,占據了超過九成的陶瓷電容器市場,廣泛應用于消費電子行業,包括家電、通訊、汽車電子、新能源、工控等應用領域。

使用國產高性能掃描電鏡可以輔助完成對MLCC的失效分析,通過微觀形貌找到失效起源,優化生產工藝,實現產品的高可靠性目標。

國產高性能掃描電鏡在MLCC中的應用

MLCC由內電極、陶瓷介質和端電極三部分組成,如下圖所示。

 

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MLCC結構示意圖

隨著下游電子產品市場需求的不斷更新,MLCC產品的技術發展趨勢也轉變為五高一小。即高容量化、高頻化、耐高溫、耐高壓、高可靠性以及小型化。小型化意味著需要使用更小尺寸、更均勻的陶瓷粉體,材料的微觀組織結構決定了最終性能,使用掃描電子顯微鏡表征陶瓷粉體的顯微結構,包括顆粒形貌、粒度均勻性和晶粒尺寸,可以幫助制備工藝的不斷提升。

 

 

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掃描電鏡下不同類型的鈦酸鋇陶瓷粉末/25kV/ETD

 

 

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掃描電鏡下不同類型的鈦酸鋇陶瓷粉末/1kV/Inlens

 

高可靠性意味著需要對失效機理有更深刻的認識,因此進行失效分析是必要的。而MLCC失效的根本原因是其外部或內部存在如開裂、孔洞、分層等各種微觀缺陷。這些缺陷會直接影響到MLCC產品的電性能和可靠性,給產品質量帶來嚴重的隱患。使用掃描電鏡可以輔助完成對電容產品的失效分析,通過微觀形貌找到失效起源,優化生產工藝,最終實現產品的高可靠性目標。

MLCC的內部是多層結構,每一層陶瓷是否有缺陷、多層陶瓷的厚度是否均勻、電極是否覆蓋均勻,這些都會影響器件的壽命。使用掃描電鏡觀察MLCC內部多層結構或對其內部失效進行分析時,常常需要對樣品進行一系列的前處理后才能夠進行測試。包括樹脂包埋、機械研磨、鍍膜儀導電處理等,也可以使用離子研磨儀做進一步的精加工處理。下圖是使用國產鎢燈絲掃描電鏡拍攝的MLCC內部截面的微觀形貌。由圖可見,陶瓷介質層的分層可能是導致器件失效的原因。 

 

 

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MLCC截面/15kV/BSED

 

 

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MLCC截面/20kV/BSED

 

近年來,隨著消費電子、通信設備及汽車等行業的蓬勃發展,對MLCC的需求量迎來新一輪增長,在當下全球科技競爭日趨激烈的形勢下,國產MLCC廠商迎來關鍵的國產替代機遇。使用國產高性能掃描電鏡表征MLCC的相關形貌和成分均勻性,將助力MLCC廠商高可靠性的持續發展。

 

 

 

 

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